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特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設計

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，特種氣體廠商，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

輔助系統(tǒng)的設計

氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，特種氣體供應商，硅1烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成普通排風系統(tǒng)（GEX）、酸性排風系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風系統(tǒng)（AEX）。普通排風系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風管，酸性排風一般采用玻璃鋼風管，溶劑和氨氣排風一般采用不銹鋼風管。氣柜的排風也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風系統(tǒng)。

特種氣體管道的施工方法

　　特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，上海特種氣體，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。 但我們在實際的施工中，大宗特氣項目很少，一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng)，為了節(jié)約成本和資金，在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工，除作業(yè)人員和檢察人員外，應禁止無關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。

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